PVD işlemlerinde, katı metalleri veya bileşikleri tutmak için potalar kullanılır ve bunlar daha sonra buharlaşma veya süblimleşme noktasına kadar ısıtılır. Bu, buharlaşan malzemenin alt tabaka üzerinde ince bir film olarak yoğunlaşmasını sağlar. Birçok erimiş malzeme bir pota astarı gerektirir ve potanın gerçek yük kapasitesi astarın hacmine bağlıdır.
CVD proseslerinde pota, öncül malzemeyi ısıtmak ve buharlaştırmak, onun reaksiyonunu ve alt tabaka üzerine birikmesini kolaylaştırmak amacıyla kullanılır.
Elektrokaplama alanında, potalar yüksek sıcaklıktaki çözücüleri veya elektrokaplama çözeltilerini eritmek için kullanılır.
Yüksek sıcaklıklarda istenmeyen kimyasal reaksiyonlardan kaçınmak için pota ve astarları dikkatlice seçilmelidir. Uyumsuz pota malzemeleri eriyiği aşındırabilir veya kirletebilir, bu da ürün kalitesini tehlikeye atabilir.
Yüksek sıcaklık işlemlerinde kritik bir sorun, pota ile erimiş malzeme arasındaki termal genleşme uyumsuzluğudur. Isıtma sırasında, erimiş malzemeler genellikle potadan daha hızlı genleşir, duvarlara basınç uygular ve potansiyel olarak çatlaklara veya deformasyona yol açar. Benzer şekilde, soğutma sırasında, özellikle potada aşırı miktarda artık malzeme varsa, malzeme büzüldükçe stres gelişebilir.
Pota Doldurma Önerileri
Bir potanın ne kadar doldurulacağı biriktirme malzemesinin türüne bağlıdır ve süblimleşen malzemeler, erimiş malzemeler ve kimyasal bileşikler arasında önemli ölçüde farklılık gösterebilir.
Süblimasyon Malzemeleri:Optimum performans için potayı %90 kapasiteye kadar doldurun. Sabit güç veya sıcaklık buharlaştırmasında, buhar dağılımı ve oran malzeme tüketildikçe değişir, ancak süblimleşen malzemeler (örneğin, tuzlar) genellikle asgari düzeyde sorun gösterir.
Erimiş Malzemeler/Süblimleşmeyen Malzemeler:Süblimleşmeyen malzemeler için önerilen dolum seviyesi pota kapasitesinin %75'idir. Aşırı doldurma, tekrar ısıtıldığında pota ile alüminyum oksit gibi malzemeler arasındaki termal genleşme farkından dolayı çatlaklara yol açabilir.
Kimyasal bileşikler:Kimyasal bileşikler için en iyi sonuçlar genellikle pota yaklaşık %50'ye kadar doldurulduğunda elde edilir ve buharlaşma sırasında malzeme yaklaşık %17'ye düşer. Buhar kalitesi (örneğin, ayrışma, buhar sıcaklığı veya oranı) kritikse, buharlaşma sürecini optimize etmek için daha fazla ayarlama gerekebilir.
Çapraz kontaminasyonu önlemek için her potanın tek bir malzeme türünü ısıtmaya ayrılması önerilir. Bazı organik bileşikler uygun temizlikle tamamen giderilebilirken, diğerlerinin ortadan kaldırılması daha zor olabilir. Temizliğin başarısı belirli organik bileşiğe ve pişirme sıcaklığına bağlıdır.
Alternatif olarak, potayı organik maddelerin normal buharlaşma noktasının çok üzerindeki sıcaklıklara ısıtmak, kalıntıları yakarak kendi kendini temizlemesini sağlayabilir.
Özel pota şekilleri, gözenek boyutları, malzemeler veya diğer özel gereksinimleriniz için lütfen özel çözümler için bizimle iletişime geçin.